18兆欧超纯水工程

日期:2018-01-17关注:253

某电子行业,采用自来水制作车间用水,用水量25t/h,系统产水达到下列要求:  

序号

名称

指标

单位

1

电阻率

≥17.5

MΩ.cm

2

出水压力

≥0.45

MPa

3

温度

23±2

4

TOC

<20

ppb

5

硅酸盐

<5

ppb

6

Ag ,Ca,Cr, K,Mg, Zn,

<1

ppb

7

Al,Cu,Fe ,Ni

<0.5

ppb

8

Na+

<1

ppb

9

SPC

<10

CFU/100ml @35deg /48hrs

10

颗粒(φ>0.5um)

<200

P/L

处理工艺:

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2018011716371328.png

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